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多晶硅燒結(jié)爐

1年前 (2024-10-12)電爐技術(shù)130

多晶硅燒結(jié)爐

    多晶硅燒結(jié)爐應(yīng)用領(lǐng)域:用于多晶硅坩堝燒結(jié)、烘烤等工業(yè)領(lǐng)域,每爐可同時容納1~6工位坩堝燒結(jié)處理。該設(shè)備也可用于模具、鑄件等金屬件的淬火、退火等熱處理。

特點:多層保溫結(jié)構(gòu);側(cè)面爐殼和爐門采用雙層隔熱結(jié)構(gòu),外殼溫度低,絕熱性好。

加熱方式:加熱元件合理布置于爐膛兩側(cè)、后墻、爐門、臺車工作面底部,共5面加熱提高爐溫均勻性。

加熱元件:優(yōu)質(zhì)合金絲制作成螺旋狀或波紋狀,纏繞在陶瓷管或瓷釘組上,有效保證其熱輻射性和壽命。

臺車工作面上鋪設(shè)碳化硅爐板,保護底部加熱元件。

臺車采用一體化路軌或無軌式(根據(jù)用戶要求)。          

爐膛兩側(cè)配置冷卻風(fēng)機,頂部開排氣通道,有效地提高冷卻速度。

溫差:爐膛內(nèi)部溫差在5℃ 以內(nèi)。

控溫精度:±1℃

用戶可根據(jù)熱處理工藝任意編輯曲線,操作簡單。


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